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主動空氣調平系統(OEM)-- PEPS® II建立在TMC的*利PEPS®(精密電子定位系統)基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數字控制器,PEPS® II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。
更新時間:2020-07-12
廠商性質:生產廠家
主動空氣消振器(OEM)- Electro-Damp®是*一款專門用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產量的商用主動隔振系統。
空氣隔振器(OEM)--TMC氣動隔振系統是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設計師的*選解決方案。TMC現在提供行業標準的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它們有不同的承重能力、阻尼水平和調平版本可供選擇,適合各種應用。
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