服務熱線
010-6202 9100
TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家
賽默飛定制版SEM主動隔振系統 SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform.
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家
STACIS Compact Quiet Island主動隔振平臺 this Compact version provides excellent sub-Hertz active floor vibration cancellation for large instruments that typically weigh over 1134 kg (2,500 lbs.).
更新時間:2020-07-12
廠商性質:生產廠家
LaserTable-Base™氣浮綜合性主動隔振系統是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家